- プローブカード (probe card) とは、集積回路の製造工程で、ウェハ上に回路の形成が完成した段階で、ウェハを個々のチップに切り離す前に行うテスト(ウェハテスト)で用いる治具である。
- ウェハテストでは、チップをテスト装置(プローバー、TEGともいう)に接続し、チップ上の端子(電極パッド、ボンディングパッド)にテストパターンに従って電圧をかけ、出力を測定して期待値と比較することでチップの良否を判定する。
Last modified time:Mon, 11 Aug 2025 00:29:56 GMT