- そして,ウェハーをCrマスクに当てる事で,光軸に対してウェハーを垂直にする。
因此,通过使晶圆与Cr掩膜接触,可以使晶圆与光轴垂直。 - そして,ウェハーをCrマスクに当てる事で,光軸に対してウェハーを垂直にする。
因此,通过使晶圆与Cr掩膜接触,可以使晶圆与光轴垂直。 - 一般的なウェハーチャックの裏側は球面すり合わせ構造になっている。
普通晶圆吸盘的内侧为球面磨合结构。 - レジストの側壁が垂直に形成できた理由は,光軸に対してウェハーチャックが垂直な事である。
光刻胶的侧壁能够垂直地形成的理由在于晶圆吸盘与光轴垂直。 - なお,DEHPのほかに,シリコンウェハーに吸着しやすい物質とされるDBP,DEHAが検出された。
另外,除DEHP之外,也检测到容易吸附到硅胶管上物质DBP、DEHA。 - 上下2点支持の構造であるため,スイング式やウェハー式に比べ,高い耐久性と安全性?静音性に優れる。
由于采用上下两点支撑的结构,与转动式或薄片式相比使用寿命长,安全可靠,噪音非常小。 - しかし,この方式は図7(b)に示すようにウェハーの一部分のみがマスクに当たり,ウェハーが光軸に対してわずかにずれやすい。
但是,如图7(b)所示,使用该方式时,晶圆只有一部分接触掩膜,晶圆相对于光轴容易偏移。 - しかし,この方式は図7(b)に示すようにウェハーの一部分のみがマスクに当たり,ウェハーが光軸に対してわずかにずれやすい。
但是,如图7(b)所示,使用该方式时,晶圆只有一部分接触掩膜,晶圆相对于光轴容易偏移。 - 土産物屋がバカンス客向けに5?10DH(約60?120円)程度で,ピーナッツやウェハースをサルの餌として売っていた。
土特产屋以5~10DH(约60~120日元)左右向观光客出售花生以及脆饼,作为猴子的饲料。 - 抵抗率が0.331?0.460Ωcmの低抵抗率Siウェハーを用いて,Si上に電着レジストを直接電着することを試みた。
使用电阻率为0.331~0.460Ωcm的低电阻率Si晶圆,在Si上尝试了直接电沉积电沉积光刻胶。
Last modified time:Thu, 14 Aug 2025 00:29:56 GMT